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玉樹(shù)囊謙縣、樂(lè)山市沐川縣、漢中市洋縣、內(nèi)蒙古興安盟突泉縣、鶴壁市?？h、亳州市渦陽(yáng)縣、邵陽(yáng)市邵陽(yáng)縣、青島市城陽(yáng)區(qū)、屯昌縣新興鎮(zhèn)、達(dá)州市渠縣
牡丹江市海林市、孝感市漢川市、黃山市歙縣、九江市彭澤縣、邵陽(yáng)市城步苗族自治縣
德陽(yáng)市中江縣、阿壩藏族羌族自治州黑水縣、澄邁縣大豐鎮(zhèn)、遵義市余慶縣、延安市延川縣、畢節(jié)市七星關(guān)區(qū)、泰州市海陵區(qū)、眉山市丹棱縣、湛江市坡頭區(qū)
西寧市城北區(qū)、淄博市桓臺(tái)縣、鄭州市登封市、六安市金安區(qū)、長(zhǎng)春市九臺(tái)區(qū)、景德鎮(zhèn)市樂(lè)平市、朝陽(yáng)市朝陽(yáng)縣、廣西南寧市武鳴區(qū)、中山市坦洲鎮(zhèn)
內(nèi)蒙古鄂爾多斯市準(zhǔn)格爾旗、內(nèi)蒙古赤峰市阿魯科爾沁旗、澄邁縣瑞溪鎮(zhèn)、蘭州市西固區(qū)、安慶市太湖縣、遼陽(yáng)市宏偉區(qū)、湘潭市湘潭縣
信陽(yáng)市息縣、海西蒙古族都蘭縣、杭州市西湖區(qū)、廣安市武勝縣、酒泉市阿克塞哈薩克族自治縣、茂名市化州市、武漢市黃陂區(qū)
黔南獨(dú)山縣、運(yùn)城市聞喜縣、漢中市洋縣、陵水黎族自治縣光坡鎮(zhèn)、開(kāi)封市尉氏縣
杭州市蕭山區(qū)、廣西柳州市融安縣、廣西河池市鳳山縣、樂(lè)山市犍為縣、哈爾濱市阿城區(qū)、開(kāi)封市蘭考縣、韶關(guān)市湞江區(qū)、漳州市平和縣
撫順市新賓滿族自治縣、上饒市橫峰縣、懷化市芷江侗族自治縣、河源市連平縣、南平市建甌市、南京市江寧區(qū)、臺(tái)州市溫嶺市
哈爾濱市呼蘭區(qū)、黃石市黃石港區(qū)、白城市洮南市、儋州市中和鎮(zhèn)、定安縣富文鎮(zhèn)、平?jīng)鍪徐`臺(tái)縣、韶關(guān)市翁源縣、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特后旗、上海市奉賢區(qū)
駐馬店市平輿縣、漳州市詔安縣、中山市西區(qū)街道、濟(jì)寧市曲阜市、資陽(yáng)市樂(lè)至縣
衡陽(yáng)市衡山縣、淮北市濉溪縣、上海市青浦區(qū)、泉州市洛江區(qū)、淄博市臨淄區(qū)、甘南迭部縣
濟(jì)寧市鄒城市、臨夏和政縣、馬鞍山市花山區(qū)、雞西市城子河區(qū)、吉林市樺甸市
文昌市文城鎮(zhèn)、阿壩藏族羌族自治州茂縣、定西市通渭縣、深圳市龍崗區(qū)、楚雄永仁縣、萬(wàn)寧市萬(wàn)城鎮(zhèn)、陵水黎族自治縣群英鄉(xiāng)、福州市閩清縣、舟山市普陀區(qū)、菏澤市成武縣
莆田市涵江區(qū)、伊春市友好區(qū)、寶雞市金臺(tái)區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市四子王旗、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟蘇尼特左旗、梅州市梅縣區(qū)、鞍山市立山區(qū)
郴州市資興市、東莞市橫瀝鎮(zhèn)、鶴崗市南山區(qū)、西寧市湟源縣、臨沂市沂水縣、汕頭市濠江區(qū)、定安縣龍湖鎮(zhèn)
大連市旅順口區(qū)、洛陽(yáng)市偃師區(qū)、寧波市奉化區(qū)、陽(yáng)泉市礦區(qū)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市烏拉特后旗、漢中市南鄭區(qū)、麗水市松陽(yáng)縣、長(zhǎng)沙市瀏陽(yáng)市、臨夏東鄉(xiāng)族自治縣、宜昌市西陵區(qū)
聊城市茌平區(qū)、定安縣黃竹鎮(zhèn)、廣州市天河區(qū)、深圳市南山區(qū)、寧波市江北區(qū)、涼山德昌縣、南平市延平區(qū)、云浮市新興縣、眉山市丹棱縣、宜春市樟樹(shù)市
定安縣龍河鎮(zhèn)、資陽(yáng)市安岳縣、淄博市博山區(qū)、宜春市萬(wàn)載縣、黃石市下陸區(qū)
茂名市電白區(qū)、馬鞍山市當(dāng)涂縣、衡陽(yáng)市常寧市、昆明市西山區(qū)、煙臺(tái)市蓬萊區(qū)
佛山市順德區(qū)、廣西河池市南丹縣、忻州市代縣、九江市修水縣、樂(lè)山市市中區(qū)、阜新市阜新蒙古族自治縣、周口市沈丘縣、新鄉(xiāng)市原陽(yáng)縣、昆明市嵩明縣、臨滄市云縣
九江市共青城市、成都市溫江區(qū)、佳木斯市湯原縣、岳陽(yáng)市湘陰縣、重慶市秀山縣、直轄縣潛江市、衡陽(yáng)市蒸湘區(qū)、成都市金牛區(qū)、黃山市黟縣
內(nèi)蒙古呼倫貝爾市根河市、哈爾濱市道外區(qū)、延邊圖們市、成都市都江堰市、遼陽(yáng)市宏偉區(qū)、湘西州鳳凰縣、樂(lè)東黎族自治縣抱由鎮(zhèn)、直轄縣潛江市、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市鄂托克前旗、咸陽(yáng)市淳化縣
玉溪市華寧縣、岳陽(yáng)市云溪區(qū)、甘南瑪曲縣、日照市五蓮縣、定安縣雷鳴鎮(zhèn)、白沙黎族自治縣細(xì)水鄉(xiāng)、鐵嶺市昌圖縣、廣西南寧市興寧區(qū)
平?jīng)鍪嗅轻紖^(qū)、漳州市薌城區(qū)、蘇州市吳江區(qū)、遂寧市船山區(qū)、盤(pán)錦市盤(pán)山縣、岳陽(yáng)市汨羅市、廣西桂林市疊彩區(qū)
蘇州市虎丘區(qū)、丹東市鳳城市、泉州市惠安縣、蕪湖市無(wú)為市、遵義市仁懷市、寧夏吳忠市鹽池縣、營(yíng)口市蓋州市、漯河市郾城區(qū)、綏化市綏棱縣、汕頭市澄海區(qū)
安陽(yáng)市滑縣、宜春市銅鼓縣、莆田市涵江區(qū)、貴陽(yáng)市花溪區(qū)、益陽(yáng)市安化縣、商洛市洛南縣、贛州市定南縣、本溪市本溪滿族自治縣、漳州市龍文區(qū)
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樂(lè)東黎族自治縣抱由鎮(zhèn)、昆明市五華區(qū)、南充市南部縣、九江市永修縣、涼山金陽(yáng)縣
瓊海市塔洋鎮(zhèn)、雞西市麻山區(qū)、廣西桂林市陽(yáng)朔縣、雅安市蘆山縣、菏澤市單縣、白沙黎族自治縣阜龍鄉(xiāng)、延邊敦化市、宜昌市五峰土家族自治縣、荊門(mén)市沙洋縣、黔東南黎平縣
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牡丹江市綏芬河市、婁底市冷水江市、內(nèi)蒙古包頭市固陽(yáng)縣、黃石市陽(yáng)新縣、衡陽(yáng)市蒸湘區(qū)、延安市吳起縣、儋州市光村鎮(zhèn)、安陽(yáng)市龍安區(qū)、白沙黎族自治縣打安鎮(zhèn)、樂(lè)山市井研縣
澄邁縣橋頭鎮(zhèn)、三明市寧化縣、長(zhǎng)沙市天心區(qū)、通化市二道江區(qū)、蘇州市吳中區(qū)、莆田市荔城區(qū)、無(wú)錫市江陰市
丹東市元寶區(qū)、揚(yáng)州市高郵市、玉樹(shù)治多縣、樂(lè)東黎族自治縣九所鎮(zhèn)、威海市乳山市
樂(lè)山市沐川縣、上海市青浦區(qū)、婁底市新化縣、臨汾市吉縣、成都市郫都區(qū)、巴中市通江縣
商丘市睢縣、株洲市荷塘區(qū)、鶴崗市綏濱縣、武漢市武昌區(qū)、紹興市越城區(qū)
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甘南碌曲縣、儋州市雅星鎮(zhèn)、沈陽(yáng)市大東區(qū)、晉中市和順縣、曲靖市富源縣、南昌市新建區(qū)、哈爾濱市雙城區(qū)
黑河市愛(ài)輝區(qū)、中山市板芙鎮(zhèn)、涼山會(huì)東縣、南通市崇川區(qū)、廣西百色市隆林各族自治縣、果洛瑪沁縣
廣西南寧市馬山縣、樂(lè)東黎族自治縣尖峰鎮(zhèn)、樂(lè)山市馬邊彝族自治縣、三明市沙縣區(qū)、西寧市湟源縣、文山文山市、東莞市常平鎮(zhèn)
廣西玉林市博白縣、東方市板橋鎮(zhèn)、遵義市仁懷市、麗水市蓮都區(qū)、郴州市嘉禾縣
宿遷市宿豫區(qū)、十堰市張灣區(qū)、內(nèi)蒙古包頭市石拐區(qū)、遼陽(yáng)市宏偉區(qū)、重慶市云陽(yáng)縣、樂(lè)東黎族自治縣千家鎮(zhèn)、定安縣定城鎮(zhèn)、忻州市靜樂(lè)縣、綏化市肇東市
濱州市鄒平市、陵水黎族自治縣提蒙鄉(xiāng)、三亞市海棠區(qū)、延安市吳起縣、臨汾市曲沃縣、漯河市舞陽(yáng)縣、婁底市婁星區(qū)、萬(wàn)寧市山根鎮(zhèn)
達(dá)州市開(kāi)江縣、泰州市海陵區(qū)、鹽城市響水縣、大同市天鎮(zhèn)縣、九江市武寧縣、萬(wàn)寧市后安鎮(zhèn)、九江市湖口縣、?？谑行阌^(qū)、樂(lè)東黎族自治縣抱由鎮(zhèn)
達(dá)州市渠縣、南充市蓬安縣、滁州市南譙區(qū)、濱州市無(wú)棣縣、甘南碌曲縣
銅川市耀州區(qū)、北京市石景山區(qū)、漢中市寧強(qiáng)縣、瀘州市瀘縣、杭州市余杭區(qū)、南通市通州區(qū)
通化市集安市、黃山市休寧縣、海西蒙古族天峻縣、萬(wàn)寧市三更羅鎮(zhèn)、鹽城市大豐區(qū)、廣州市海珠區(qū)、慶陽(yáng)市寧縣、梅州市五華縣、天津市薊州區(qū)、荊州市江陵縣
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梅州市蕉嶺縣、廣西貴港市桂平市、通化市輝南縣、遵義市紅花崗區(qū)、?？谑行阌^(qū)、東方市板橋鎮(zhèn)、鄭州市中牟縣、恩施州鶴峰縣、蚌埠市禹會(huì)區(qū)、佛山市順德區(qū)
麗水市青田縣、廣西桂林市荔浦市、文昌市翁田鎮(zhèn)、雅安市石棉縣、連云港市連云區(qū)、吉安市吉安縣、東莞市望牛墩鎮(zhèn)
深圳半導(dǎo)體新星新凱來(lái)首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開(kāi)海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來(lái)工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷(xiāo)售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來(lái)技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來(lái)技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱(chēng)指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo)，新凱來(lái)有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱(chēng)，新凱來(lái)此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類(lèi)關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開(kāi)始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來(lái)此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過(guò)照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門(mén)山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過(guò)程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要。”一位從事傳感器制造的人士向界面新聞分析指。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來(lái)越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過(guò)500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過(guò)99.99%，最終的良品率方可超過(guò)95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類(lèi)別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國(guó)產(chǎn)廠商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開(kāi)始提速，主要廠商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來(lái)的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類(lèi)：一類(lèi)是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類(lèi)產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類(lèi)是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線類(lèi)量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來(lái)的技術(shù)儲(chǔ)備從其專(zhuān)利中可見(jiàn)一斑。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)和新凱來(lái)技術(shù)有超過(guò)80項(xiàng)發(fā)明專(zhuān)利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來(lái)，公布的發(fā)明專(zhuān)利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來(lái)技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤(pán)及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來(lái)已開(kāi)發(fā)6大類(lèi)半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來(lái)量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問(wèn)題，國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過(guò)，國(guó)內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過(guò)去幾年，因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過(guò)政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來(lái)，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來(lái)的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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