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漳州市華安縣、宜昌市枝江市、泉州市泉港區(qū)、萬寧市東澳鎮(zhèn)、廣西桂林市荔浦市、梅州市梅江區(qū)
煙臺市招遠市、天水市秦安縣、葫蘆島市連山區(qū)、東莞市石排鎮(zhèn)、遼陽市燈塔市、龍巖市長汀縣、吉安市廬陵新區(qū)、常德市臨澧縣、湘潭市雨湖區(qū)、周口市太康縣
寶雞市鳳翔區(qū)、運城市永濟市、吉安市新干縣、哈爾濱市阿城區(qū)、果洛甘德縣、臺州市路橋區(qū)、濰坊市高密市、贛州市信豐縣
駐馬店市平輿縣、衢州市柯城區(qū)、德州市陵城區(qū)、白沙黎族自治縣打安鎮(zhèn)、丹東市振興區(qū)、成都市都江堰市
西雙版納勐臘縣、武漢市洪山區(qū)、營口市西市區(qū)、邵陽市新邵縣、黃石市黃石港區(qū)、定西市隴西縣、延安市甘泉縣、龍巖市永定區(qū)、南昌市南昌縣、襄陽市棗陽市
佛山市高明區(qū)、紅河瀘西縣、樂山市沙灣區(qū)、洛陽市宜陽縣、萍鄉(xiāng)市上栗縣
武威市涼州區(qū)、涼山雷波縣、平頂山市汝州市、懷化市鶴城區(qū)、煙臺市萊州市、青島市膠州市、文昌市龍樓鎮(zhèn)、東莞市塘廈鎮(zhèn)、淄博市臨淄區(qū)、玉樹治多縣
德州市德城區(qū)、寧德市壽寧縣、佛山市三水區(qū)、長沙市天心區(qū)、濮陽市濮陽縣
大同市左云縣、撫順市新?lián)釁^(qū)、盤錦市大洼區(qū)、楚雄姚安縣、撫順市東洲區(qū)、甘孜九龍縣、韶關(guān)市湞江區(qū)、忻州市五臺縣
渭南市大荔縣、九江市湖口縣、駐馬店市上蔡縣、貴陽市白云區(qū)、廣西桂林市全州縣、遼陽市文圣區(qū)、白山市渾江區(qū)、廣西柳州市融安縣、信陽市潢川縣、東莞市黃江鎮(zhèn)
忻州市岢嵐縣、雞西市滴道區(qū)、晉城市城區(qū)、陵水黎族自治縣黎安鎮(zhèn)、德宏傣族景頗族自治州梁河縣、廣西河池市東蘭縣、東莞市望牛墩鎮(zhèn)、嘉興市海寧市、嘉興市南湖區(qū)
果洛瑪沁縣、楚雄南華縣、鐵嶺市鐵嶺縣、無錫市惠山區(qū)、文昌市會文鎮(zhèn)、眉山市丹棱縣
遵義市鳳岡縣、濟南市長清區(qū)、泰安市東平縣、瓊海市龍江鎮(zhèn)、雅安市雨城區(qū)、雅安市漢源縣、徐州市銅山區(qū)
雞西市雞冠區(qū)、南平市延平區(qū)、上饒市萬年縣、五指山市毛陽、宜賓市南溪區(qū)、岳陽市華容縣、遼源市東遼縣
安康市漢陰縣、重慶市南川區(qū)、綿陽市安州區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市準格爾旗、南昌市西湖區(qū)、哈爾濱市尚志市
安慶市迎江區(qū)、衢州市衢江區(qū)、遵義市正安縣、天水市秦安縣、洛陽市瀍河回族區(qū)、陵水黎族自治縣隆廣鎮(zhèn)、白銀市白銀區(qū)
成都市崇州市、蘭州市榆中縣、大理賓川縣、洛陽市洛寧縣、贛州市尋烏縣、甘孜爐霍縣、臨沂市蘭陵縣
自貢市大安區(qū)、鶴壁市山城區(qū)、茂名市信宜市、汕頭市龍湖區(qū)、蘇州市虎丘區(qū)、牡丹江市東寧市、撫州市南城縣、青島市市南區(qū)、銅川市宜君縣、龍巖市新羅區(qū)
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福州市閩清縣、孝感市漢川市、宜昌市宜都市、甘孜九龍縣、長春市南關(guān)區(qū)、隨州市曾都區(qū)、焦作市沁陽市
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點。
3月26日-27日，深圳新凱來工業(yè)機器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長白山）。
這家新銳國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺。
這個“國家隊”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團全資控股，而后者隸屬深圳國資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點。如EPI外延層技術(shù)是先進制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對原子級薄膜沉積，是5納米以下先進制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國際龍頭主導(dǎo)，新凱來有意打破固有競爭格局。
國際市場上，EPI設(shè)備長期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場份額。
行業(yè)分析稱，新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨特的反應(yīng)腔設(shè)計，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達到業(yè)界先進標準，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測產(chǎn)品開發(fā)，并在國內(nèi)邏輯、存儲和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測、光學(xué)量測、PX量測、功率檢測等領(lǐng)域，通過照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測產(chǎn)品天門山IBO、PX量測產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過程，對工藝改進、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋浮?/p>
該人士提到，隨著制程演進，集成電路前道工藝的步驟越來越多，檢量測重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過500道時，只有保證每一道工序的良品率都超過99.99%，最終的良品率方可超過95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時，最終總良品率會下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計，2023年全球半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備市場規(guī)模達到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國大陸半導(dǎo)體量測檢測設(shè)備的市場規(guī)模43.6億美元，全球市場規(guī)模占比約33.98%，市場空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測裝備是前道裝備里國產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報指出，相較于海外廠商，國內(nèi)半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國產(chǎn)廠商的市場份額尚不及5%，但國產(chǎn)化進程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國內(nèi)市場份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來的量檢測產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測產(chǎn)品，包括明場缺陷檢測BFI、暗場缺陷檢測DFI、表面缺陷檢測PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗證，2025年進入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測AFM、X射線類量測XPS、CP(Chip Probing)測試機等。其中，PX量測產(chǎn)品已進入量產(chǎn)交付，功率檢測產(chǎn)品也進入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來的技術(shù)儲備從其專利中可見一斑。天眼查顯示，新凱來工業(yè)和新凱來技術(shù)有超過80項發(fā)明專利和實用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點。
目前，新凱來已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測裝備。新凱來量檢測設(shè)備產(chǎn)品線負責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進制程問題，國外工藝節(jié)點已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會朝這個方向持續(xù)努力。”
不過，國內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長于設(shè)計，疏于制造。過去幾年，因為國際局勢的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團部署了多個半導(dǎo)體項目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺，這個平臺聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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