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鶴壁市浚縣、黔東南丹寨縣、咸寧市赤壁市、廣西賀州市八步區(qū)、荊門市京山市、黃山市休寧縣、蕪湖市灣沚區(qū)、合肥市肥西縣、甘孜巴塘縣
廣西賀州市富川瑤族自治縣、甘孜道孚縣、鐵嶺市西豐縣、臨汾市安澤縣、綿陽(yáng)市游仙區(qū)、洛陽(yáng)市洛龍區(qū)、駐馬店市驛城區(qū)
東方市東河鎮(zhèn)、郴州市臨武縣、贛州市上猶縣、內(nèi)蒙古包頭市九原區(qū)、湘潭市湘潭縣
濰坊市安丘市、黔東南凱里市、甘孜雅江縣、撫順市新?lián)釁^(qū)、大連市莊河市、泰州市靖江市、晉中市靈石縣、泰州市姜堰區(qū)、大慶市大同區(qū)
鎮(zhèn)江市揚(yáng)中市、涼山西昌市、儋州市雅星鎮(zhèn)、洛陽(yáng)市汝陽(yáng)縣、澄邁縣瑞溪鎮(zhèn)
內(nèi)蒙古呼倫貝爾市牙克石市、文山富寧縣、鷹潭市余江區(qū)、貴陽(yáng)市開陽(yáng)縣、恩施州建始縣
岳陽(yáng)市云溪區(qū)、珠海市香洲區(qū)、九江市修水縣、長(zhǎng)沙市望城區(qū)、玉溪市峨山彝族自治縣、鞍山市鐵東區(qū)、廣州市南沙區(qū)
中山市南朗鎮(zhèn)、成都市武侯區(qū)、銅仁市玉屏侗族自治縣、武漢市洪山區(qū)、攀枝花市東區(qū)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市杭錦后旗、甘南迭部縣、大興安嶺地區(qū)塔河縣、大慶市紅崗區(qū)
普洱市思茅區(qū)、白沙黎族自治縣細(xì)水鄉(xiāng)、衢州市龍游縣、黑河市遜克縣、濟(jì)寧市魚臺(tái)縣、襄陽(yáng)市樊城區(qū)、臨汾市永和縣
恩施州宣恩縣、酒泉市肅北蒙古族自治縣、安陽(yáng)市滑縣、龍巖市永定區(qū)、白沙黎族自治縣南開鄉(xiāng)、大連市普蘭店區(qū)
慶陽(yáng)市環(huán)縣、延安市洛川縣、廣西柳州市城中區(qū)、駐馬店市汝南縣、宜賓市翠屏區(qū)、瀘州市納溪區(qū)、文山麻栗坡縣
深圳市羅湖區(qū)、內(nèi)蒙古興安盟突泉縣、漢中市鎮(zhèn)巴縣、安陽(yáng)市殷都區(qū)、伊春市嘉蔭縣
惠州市博羅縣、武漢市東西湖區(qū)、德州市寧津縣、伊春市嘉蔭縣、七臺(tái)河市茄子河區(qū)
黃山市黃山區(qū)、臺(tái)州市路橋區(qū)、泉州市安溪縣、深圳市坪山區(qū)、臺(tái)州市臨海市、澄邁縣橋頭鎮(zhèn)、天津市寶坻區(qū)、廣西桂林市陽(yáng)朔縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟正鑲白旗
丹東市振安區(qū)、鶴崗市綏濱縣、大興安嶺地區(qū)呼中區(qū)、安康市寧陜縣、漯河市臨潁縣、文昌市錦山鎮(zhèn)、朔州市朔城區(qū)、臺(tái)州市玉環(huán)市
蘇州市常熟市、陵水黎族自治縣英州鎮(zhèn)、上海市青浦區(qū)、廣西河池市巴馬瑤族自治縣、綏化市明水縣、廣西貴港市港北區(qū)
臨高縣多文鎮(zhèn)、漢中市西鄉(xiāng)縣、清遠(yuǎn)市英德市、商丘市睢縣、常德市鼎城區(qū)、洛陽(yáng)市汝陽(yáng)縣
長(zhǎng)沙市望城區(qū)、德宏傣族景頗族自治州盈江縣、海西蒙古族茫崖市、天津市靜海區(qū)、周口市西華縣、儋州市峨蔓鎮(zhèn)、吉林市船營(yíng)區(qū)、信陽(yáng)市光山縣、潮州市湘橋區(qū)、伊春市嘉蔭縣
寧夏吳忠市青銅峽市、深圳市光明區(qū)、貴陽(yáng)市開陽(yáng)縣、內(nèi)蒙古烏海市海勃灣區(qū)、大連市西崗區(qū)
廣西欽州市欽南區(qū)、開封市祥符區(qū)、普洱市墨江哈尼族自治縣、南京市建鄴區(qū)、榆林市清澗縣、廣西崇左市大新縣、婁底市冷水江市、懷化市中方縣、儋州市南豐鎮(zhèn)
沈陽(yáng)市鐵西區(qū)、白山市江源區(qū)、隴南市禮縣、廣西玉林市陸川縣、麗水市云和縣
梅州市梅縣區(qū)、邵陽(yáng)市新寧縣、銅仁市碧江區(qū)、濰坊市濰城區(qū)、齊齊哈爾市昂昂溪區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市松山區(qū)、鶴崗市興安區(qū)、大連市長(zhǎng)?？h、韶關(guān)市曲江區(qū)
重慶市綦江區(qū)、長(zhǎng)春市南關(guān)區(qū)、漢中市鎮(zhèn)巴縣、內(nèi)蒙古包頭市石拐區(qū)、廣西百色市那坡縣、鄭州市登封市、溫州市龍灣區(qū)、長(zhǎng)春市綠園區(qū)、惠州市惠東縣、海西蒙古族烏蘭縣
湛江市霞山區(qū)、馬鞍山市含山縣、運(yùn)城市河津市、南平市光澤縣、澄邁縣中興鎮(zhèn)
阿壩藏族羌族自治州茂縣、寧德市福安市、紅河瀘西縣、湘潭市雨湖區(qū)、福州市閩侯縣、攀枝花市東區(qū)、黔西南晴隆縣、廣西柳州市柳北區(qū)
昌江黎族自治縣七叉鎮(zhèn)、大連市中山區(qū)、贛州市瑞金市、金華市金東區(qū)、常州市金壇區(qū)、晉中市太谷區(qū)、臨汾市吉縣、河源市連平縣、德州市臨邑縣
嘉興市海鹽縣、寧夏吳忠市同心縣、商洛市鎮(zhèn)安縣、沈陽(yáng)市蘇家屯區(qū)、重慶市彭水苗族土家族自治縣、遵義市匯川區(qū)、駐馬店市平輿縣、渭南市華陰市、慶陽(yáng)市環(huán)縣
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中山市坦洲鎮(zhèn)、三亞市海棠區(qū)、寧波市鄞州區(qū)、連云港市東?？h、鄂州市梁子湖區(qū)、連云港市贛榆區(qū)、聊城市高唐縣、南陽(yáng)市社旗縣、九江市共青城市
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漳州市龍海區(qū)、揚(yáng)州市儀征市、撫州市南豐縣、松原市寧江區(qū)、廣西百色市田陽(yáng)區(qū)、銅陵市樅陽(yáng)縣、衡陽(yáng)市衡東縣、曲靖市會(huì)澤縣
棗莊市山亭區(qū)、黔東南臺(tái)江縣、天津市濱海新區(qū)、大連市金州區(qū)、郴州市宜章縣、安陽(yáng)市內(nèi)黃縣
邵陽(yáng)市大祥區(qū)、平?jīng)鍪谐缧趴h、海東市循化撒拉族自治縣、黔南獨(dú)山縣、文昌市抱羅鎮(zhèn)、贛州市石城縣、廣西桂林市興安縣
陵水黎族自治縣新村鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市扎賚諾爾區(qū)、萬(wàn)寧市山根鎮(zhèn)、昆明市五華區(qū)、成都市青羊區(qū)、黃石市大冶市、重慶市云陽(yáng)縣、寧波市北侖區(qū)、重慶市武隆區(qū)、濰坊市昌邑市
昭通市魯?shù)榭h、清遠(yuǎn)市陽(yáng)山縣、內(nèi)蒙古烏蘭察布市集寧區(qū)、煙臺(tái)市牟平區(qū)、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市達(dá)拉特旗
臨高縣多文鎮(zhèn)、定安縣龍河鎮(zhèn)、濟(jì)南市市中區(qū)、廣西崇左市大新縣、嘉峪關(guān)市新城鎮(zhèn)、渭南市蒲城縣
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廣西欽州市欽北區(qū)、濰坊市濰城區(qū)、本溪市本溪滿族自治縣、廣州市白云區(qū)、黔南惠水縣、伊春市大箐山縣、樂山市夾江縣、廣西北海市合浦縣、樂山市市中區(qū)、合肥市肥西縣
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來(lái)首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來(lái)工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來(lái)技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來(lái)技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo)，新凱來(lái)有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱，新凱來(lái)此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開發(fā)，并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來(lái)此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋?。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來(lái)越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過99.99%，最終的良品率方可超過95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國(guó)產(chǎn)廠商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來(lái)的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線類量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來(lái)的技術(shù)儲(chǔ)備從其專利中可見一斑。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)和新凱來(lái)技術(shù)有超過80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來(lái)，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來(lái)技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來(lái)已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來(lái)量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問題，國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過，國(guó)內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過去幾年，因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來(lái)，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來(lái)的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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