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雙鴨山市四方臺區(qū)、隴南市文縣、南充市閬中市、漳州市云霄縣、張掖市臨澤縣、黔東南天柱縣、廣安市武勝縣
齊齊哈爾市碾子山區(qū)、福州市閩清縣、寧波市北侖區(qū)、煙臺市福山區(qū)、樂東黎族自治縣佛羅鎮(zhèn)、新鄉(xiāng)市獲嘉縣
玉樹稱多縣、昆明市西山區(qū)、開封市蘭考縣、常德市漢壽縣、定西市安定區(qū)、廣西南寧市馬山縣、吉安市吉州區(qū)、大理大理市
晉中市和順縣、日照市嵐山區(qū)、東莞市虎門鎮(zhèn)、玉溪市江川區(qū)、廣西桂林市恭城瑤族自治縣
大連市西崗區(qū)、廣安市前鋒區(qū)、慶陽市慶城縣、平頂山市衛(wèi)東區(qū)、瓊海市潭門鎮(zhèn)、淮南市潘集區(qū)、新鄉(xiāng)市鳳泉區(qū)
滁州市鳳陽縣、貴陽市花溪區(qū)、中山市東升鎮(zhèn)、鄭州市中牟縣、平?jīng)鍪袥艽h、張家界市武陵源區(qū)、萬寧市東澳鎮(zhèn)、怒江傈僳族自治州瀘水市、廣西梧州市藤縣
上饒市余干縣、朔州市朔城區(qū)、吉安市吉水縣、珠海市金灣區(qū)、雙鴨山市友誼縣、衡陽市蒸湘區(qū)、重慶市璧山區(qū)、銅川市宜君縣、孝感市安陸市
隴南市文縣、益陽市赫山區(qū)、上海市嘉定區(qū)、濰坊市奎文區(qū)、朔州市朔城區(qū)、黔東南榕江縣、廣西桂林市靈川縣
直轄縣神農(nóng)架林區(qū)、榆林市神木市、深圳市鹽田區(qū)、德州市武城縣、陵水黎族自治縣新村鎮(zhèn)、安陽市文峰區(qū)、泰安市東平縣、韶關(guān)市新豐縣、忻州市繁峙縣
商丘市寧陵縣、五指山市毛陽、白沙黎族自治縣金波鄉(xiāng)、廣西防城港市防城區(qū)、天水市秦州區(qū)、濰坊市壽光市、廣西玉林市玉州區(qū)、江門市恩平市、甘孜爐霍縣
定西市渭源縣、綏化市蘭西縣、迪慶香格里拉市、湛江市坡頭區(qū)、重慶市江津區(qū)、重慶市巴南區(qū)、宜春市宜豐縣、延邊汪清縣、黔東南施秉縣、邵陽市城步苗族自治縣
遼陽市弓長嶺區(qū)、眉山市仁壽縣、淮安市淮陰區(qū)、泰州市泰興市、上饒市信州區(qū)、南陽市方城縣、武威市民勤縣、惠州市惠陽區(qū)、嘉興市桐鄉(xiāng)市
無錫市江陰市、常德市桃源縣、麗水市景寧畬族自治縣、漳州市龍文區(qū)、鎮(zhèn)江市京口區(qū)、三明市永安市、延邊琿春市、阜陽市太和縣、隴南市西和縣
內(nèi)江市資中縣、內(nèi)蒙古興安盟扎賚特旗、遼陽市弓長嶺區(qū)、淄博市周村區(qū)、延安市子長市、濱州市鄒平市、荊州市沙市區(qū)、衡陽市南岳區(qū)、營口市老邊區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市新城區(qū)
澄邁縣中興鎮(zhèn)、潮州市湘橋區(qū)、六安市霍山縣、金華市磐安縣、重慶市長壽區(qū)
黑河市愛輝區(qū)、中山市板芙鎮(zhèn)、涼山會東縣、南通市崇川區(qū)、廣西百色市隆林各族自治縣、果洛瑪沁縣
徐州市沛縣、伊春市友好區(qū)、屯昌縣坡心鎮(zhèn)、邵陽市北塔區(qū)、朝陽市雙塔區(qū)
南陽市南召縣、廣西崇左市江州區(qū)、重慶市涪陵區(qū)、咸陽市永壽縣、儋州市中和鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古烏海市海勃灣區(qū)、淄博市沂源縣
韶關(guān)市翁源縣、廣安市前鋒區(qū)、韶關(guān)市乳源瑤族自治縣、廣州市增城區(qū)、阿壩藏族羌族自治州理縣、湘西州古丈縣
九江市修水縣、信陽市潢川縣、淮安市金湖縣、樂山市峨邊彝族自治縣、荊門市東寶區(qū)、榆林市定邊縣
牡丹江市東寧市、晉城市高平市、寶雞市鳳縣、永州市冷水灘區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市扎賚諾爾區(qū)、蘇州市虎丘區(qū)
甘南瑪曲縣、玉溪市通海縣、湘西州吉首市、襄陽市襄州區(qū)、安康市漢陰縣
德陽市旌陽區(qū)、果洛瑪多縣、廣西南寧市青秀區(qū)、蚌埠市禹會區(qū)、嘉峪關(guān)市文殊鎮(zhèn)、安慶市望江縣、吉林市船營區(qū)、廣西貴港市港南區(qū)、東方市三家鎮(zhèn)、鄭州市管城回族區(qū)
聊城市高唐縣、大連市金州區(qū)、雅安市滎經(jīng)縣、延邊汪清縣、吉安市新干縣、許昌市禹州市、海東市樂都區(qū)、紅河河口瑤族自治縣、榆林市榆陽區(qū)、洛陽市孟津區(qū)
衢州市江山市、煙臺市萊山區(qū)、吉林市永吉縣、漢中市佛坪縣、貴陽市云巖區(qū)、中山市港口鎮(zhèn)、周口市淮陽區(qū)、紅河石屏縣、廣西河池市東蘭縣
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北京市懷柔區(qū)、漯河市舞陽縣、漢中市漢臺區(qū)、寧夏吳忠市紅寺堡區(qū)、揭陽市惠來縣、鞍山市岫巖滿族自治縣、沈陽市沈河區(qū)、麗水市青田縣、淮安市洪澤區(qū)、宿州市碭山縣
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陵水黎族自治縣提蒙鄉(xiāng)、廣西桂林市七星區(qū)、綿陽市梓潼縣、安陽市內(nèi)黃縣、荊州市石首市、廣西來賓市武宣縣
五指山市水滿、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟正鑲白旗、新鄉(xiāng)市長垣市、岳陽市華容縣、揚州市江都區(qū)、延安市子長市、張掖市民樂縣、北京市延慶區(qū)、涼山美姑縣
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通化市梅河口市、茂名市高州市、東莞市茶山鎮(zhèn)、眉山市青神縣、涼山會東縣
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哈爾濱市阿城區(qū)、金昌市永昌縣、菏澤市鄄城縣、大連市長?？h、濟(jì)寧市微山縣、甘南卓尼縣
寧波市寧?？h、內(nèi)蒙古包頭市石拐區(qū)、上海市嘉定區(qū)、三亞市崖州區(qū)、臨沂市沂南縣
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滁州市鳳陽縣、達(dá)州市開江縣、銅陵市銅官區(qū)、蘇州市吳中區(qū)、阿壩藏族羌族自治州金川縣、南通市海門區(qū)、肇慶市高要區(qū)、曲靖市馬龍區(qū)、常德市鼎城區(qū)
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哈爾濱市方正縣、滁州市瑯琊區(qū)、阿壩藏族羌族自治州阿壩縣、阜陽市潁東區(qū)、東方市東河鎮(zhèn)、廈門市海滄區(qū)、湘潭市雨湖區(qū)、揚州市儀征市、撫州市臨川區(qū)、景德鎮(zhèn)市珠山區(qū)
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點。
3月26日-27日，深圳新凱來工業(yè)機器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長白山）。
這家新銳國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺。
這個“國家隊”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對原子級薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國際龍頭主導(dǎo)，新凱來有意打破固有競爭格局。
國際市場上，EPI設(shè)備長期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場份額。
行業(yè)分析稱，新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨特的反應(yīng)腔設(shè)計，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測產(chǎn)品開發(fā)，并在國內(nèi)邏輯、存儲和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測、光學(xué)量測、PX量測、功率檢測等領(lǐng)域，通過照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測產(chǎn)品天門山IBO、PX量測產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過程，對工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋?。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來越多，檢量測重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過500道時，只有保證每一道工序的良品率都超過99.99%，最終的良品率方可超過95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時，最終總良品率會下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計，2023年全球半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備市場規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國大陸半導(dǎo)體量測檢測設(shè)備的市場規(guī)模43.6億美元，全球市場規(guī)模占比約33.98%，市場空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測裝備是前道裝備里國產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報指出，相較于海外廠商，國內(nèi)半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國產(chǎn)廠商的市場份額尚不及5%，但國產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國內(nèi)市場份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來的量檢測產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測產(chǎn)品，包括明場缺陷檢測BFI、暗場缺陷檢測DFI、表面缺陷檢測PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測AFM、X射線類量測XPS、CP(Chip Probing)測試機等。其中，PX量測產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來的技術(shù)儲備從其專利中可見一斑。天眼查顯示，新凱來工業(yè)和新凱來技術(shù)有超過80項發(fā)明專利和實用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點。
目前，新凱來已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測裝備。新凱來量檢測設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問題，國外工藝節(jié)點已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會朝這個方向持續(xù)努力。”
不過，國內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長于設(shè)計，疏于制造。過去幾年，因為國際局勢的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個半導(dǎo)體項目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺，這個平臺聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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