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九江市彭澤縣、河源市龍川縣、阜陽市潁上縣、長(zhǎng)春市德惠市、紅河金平苗族瑤族傣族自治縣、甘孜九龍縣
焦作市孟州市、臨沂市蘭山區(qū)、資陽市樂至縣、廣州市天河區(qū)、上海市靜安區(qū)
齊齊哈爾市建華區(qū)、保山市龍陵縣、運(yùn)城市臨猗縣、南充市高坪區(qū)、丹東市鳳城市、九江市濂溪區(qū)
南平市武夷山市、東莞市沙田鎮(zhèn)、澄邁縣仁興鎮(zhèn)、中山市石岐街道、漢中市勉縣、長(zhǎng)沙市開福區(qū)、上饒市橫峰縣、中山市古鎮(zhèn)鎮(zhèn)
恩施州宣恩縣、渭南市蒲城縣、七臺(tái)河市勃利縣、衡陽市祁東縣、麗江市永勝縣、徐州市睢寧縣、韶關(guān)市翁源縣、沈陽市大東區(qū)、黔南羅甸縣
宜春市靖安縣、屯昌縣南坤鎮(zhèn)、咸陽市禮泉縣、成都市青白江區(qū)、五指山市毛道、嘉興市海寧市、大同市云州區(qū)、周口市扶溝縣、九江市廬山市
延安市子長(zhǎng)市、瓊海市會(huì)山鎮(zhèn)、深圳市坪山區(qū)、營(yíng)口市西市區(qū)、雙鴨山市嶺東區(qū)、上海市奉賢區(qū)、眉山市丹棱縣、九江市彭澤縣、寧波市象山縣、定安縣黃竹鎮(zhèn)
安陽市北關(guān)區(qū)、貴陽市修文縣、淮北市杜集區(qū)、樂山市金口河區(qū)、茂名市化州市、牡丹江市綏芬河市、中山市黃圃鎮(zhèn)、安陽市湯陰縣、內(nèi)蒙古通遼市扎魯特旗
惠州市惠陽區(qū)、北京市通州區(qū)、吉安市新干縣、重慶市璧山區(qū)、河源市連平縣、海北門源回族自治縣、澄邁縣文儒鎮(zhèn)
宜賓市長(zhǎng)寧縣、張家界市永定區(qū)、定西市岷縣、澄邁縣瑞溪鎮(zhèn)、上饒市信州區(qū)、黔西南普安縣
銅川市王益區(qū)、岳陽市臨湘市、遂寧市安居區(qū)、定西市渭源縣、廣西崇左市憑祥市、呂梁市臨縣、澄邁縣仁興鎮(zhèn)、撫州市廣昌縣、定安縣雷鳴鎮(zhèn)、張掖市山丹縣
長(zhǎng)春市榆樹市、天水市甘谷縣、南充市營(yíng)山縣、樂東黎族自治縣大安鎮(zhèn)、大興安嶺地區(qū)漠河市、海西蒙古族茫崖市、廈門市湖里區(qū)
安慶市迎江區(qū)、南通市如東縣、滁州市明光市、黔西南望謨縣、阿壩藏族羌族自治州小金縣、甘孜瀘定縣
淮安市漣水縣、西安市閻良區(qū)、宜春市宜豐縣、昌江黎族自治縣石碌鎮(zhèn)、海東市樂都區(qū)、酒泉市肅州區(qū)、東方市東河鎮(zhèn)、紅河石屏縣、鞍山市海城市
南平市政和縣、貴陽市花溪區(qū)、清遠(yuǎn)市陽山縣、徐州市賈汪區(qū)、宣城市績(jī)溪縣、菏澤市成武縣
常德市武陵區(qū)、延邊延吉市、樂山市市中區(qū)、陵水黎族自治縣本號(hào)鎮(zhèn)、南京市建鄴區(qū)、襄陽市老河口市、麗水市青田縣、榆林市橫山區(qū)、郴州市桂陽縣
岳陽市華容縣、西安市碑林區(qū)、清遠(yuǎn)市佛岡縣、汕頭市龍湖區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市克什克騰旗
萬寧市龍滾鎮(zhèn)、大理劍川縣、楚雄雙柏縣、天津市西青區(qū)、平?jīng)鍪徐`臺(tái)縣、渭南市韓城市、沈陽市大東區(qū)、永州市東安縣、內(nèi)蒙古包頭市白云鄂博礦區(qū)
玉樹囊謙縣、紹興市新昌縣、太原市清徐縣、寧夏固原市涇源縣、佳木斯市撫遠(yuǎn)市、蘭州市紅古區(qū)、菏澤市成武縣、衡陽市雁峰區(qū)、平頂山市寶豐縣
菏澤市曹縣、儋州市蘭洋鎮(zhèn)、德州市慶云縣、甘孜石渠縣、白城市洮南市、廣西賀州市八步區(qū)、永州市寧遠(yuǎn)縣、果洛甘德縣、七臺(tái)河市茄子河區(qū)、錦州市北鎮(zhèn)市
常德市武陵區(qū)、梅州市大埔縣、大慶市大同區(qū)、陽泉市盂縣、安慶市岳西縣、韶關(guān)市始興縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市烏審旗、阜陽市界首市、焦作市博愛縣、銅川市耀州區(qū)
樂東黎族自治縣佛羅鎮(zhèn)、新鄉(xiāng)市原陽縣、遵義市播州區(qū)、株洲市蘆淞區(qū)、遵義市紅花崗區(qū)、上饒市信州區(qū)
株洲市攸縣、無錫市錫山區(qū)、咸寧市赤壁市、內(nèi)蒙古呼和浩特市玉泉區(qū)、五指山市水滿、臺(tái)州市天臺(tái)縣、臨高縣加來鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古呼和浩特市清水河縣、深圳市坪山區(qū)
成都市簡(jiǎn)陽市、樂山市犍為縣、深圳市坪山區(qū)、內(nèi)江市威遠(yuǎn)縣、茂名市茂南區(qū)、內(nèi)蒙古通遼市庫倫旗
昭通市大關(guān)縣、臺(tái)州市三門縣、畢節(jié)市大方縣、九江市湖口縣、德宏傣族景頗族自治州瑞麗市、澄邁縣金江鎮(zhèn)
重慶市城口縣、商丘市睢陽區(qū)、南充市高坪區(qū)、常德市漢壽縣、廣西桂林市臨桂區(qū)
直轄縣潛江市、永州市寧遠(yuǎn)縣、白銀市會(huì)寧縣、聊城市高唐縣、廣西梧州市岑溪市
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佳木斯市樺南縣、南京市棲霞區(qū)、贛州市信豐縣、南京市建鄴區(qū)、淮南市鳳臺(tái)縣
黑河市北安市、廣西百色市靖西市、丹東市寬甸滿族自治縣、晉中市平遙縣、運(yùn)城市芮城縣、駐馬店市新蔡縣、廣安市岳池縣、安陽市湯陰縣、龍巖市漳平市、十堰市房縣
德陽市旌陽區(qū)、佳木斯市同江市、邵陽市邵東市、臨汾市永和縣、甘南瑪曲縣
涼山昭覺縣、金華市武義縣、衢州市柯城區(qū)、東方市天安鄉(xiāng)、韶關(guān)市樂昌市、嘉興市海鹽縣、葫蘆島市建昌縣、牡丹江市陽明區(qū)、懷化市溆浦縣、沈陽市和平區(qū)
呂梁市孝義市、衡陽市南岳區(qū)、內(nèi)蒙古巴彥淖爾市臨河區(qū)、九江市湖口縣、咸陽市武功縣、河源市和平縣、福州市福清市、銅仁市德江縣
銅仁市印江縣、中山市中山港街道、儋州市光村鎮(zhèn)、宜春市萬載縣、天津市南開區(qū)、涼山普格縣、海東市平安區(qū)、永州市零陵區(qū)
東方市板橋鎮(zhèn)、濮陽市臺(tái)前縣、宣城市旌德縣、哈爾濱市雙城區(qū)、臨夏臨夏市、內(nèi)蒙古興安盟阿爾山市、黔西南貞豐縣
黔西南安龍縣、樂山市市中區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市卓資縣、榆林市榆陽區(qū)、懷化市中方縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市烏審旗、普洱市江城哈尼族彝族自治縣、甘南夏河縣、龍巖市漳平市、德州市樂陵市
十堰市竹溪縣、朝陽市龍城區(qū)、上饒市萬年縣、涼山布拖縣、瀘州市合江縣、五指山市南圣
渭南市澄城縣、上海市靜安區(qū)、黔東南天柱縣、慶陽市華池縣、哈爾濱市巴彥縣、許昌市襄城縣
駐馬店市上蔡縣、內(nèi)蒙古烏海市海南區(qū)、大慶市龍鳳區(qū)、南昌市進(jìn)賢縣、南陽市鎮(zhèn)平縣、丹東市寬甸滿族自治縣、廣西梧州市龍圩區(qū)、甘孜德格縣、寧夏固原市涇源縣
濟(jì)源市市轄區(qū)、三亞市吉陽區(qū)、黑河市孫吳縣、寧波市江北區(qū)、普洱市墨江哈尼族自治縣、黃南尖扎縣、海東市循化撒拉族自治縣、濟(jì)南市萊蕪區(qū)、丹東市振安區(qū)
東莞市企石鎮(zhèn)、廣州市荔灣區(qū)、周口市鹿邑縣、荊門市京山市、杭州市余杭區(qū)、海東市樂都區(qū)、延安市安塞區(qū)、南通市海門區(qū)、紅河綠春縣
佳木斯市樺川縣、廣西桂林市雁山區(qū)、汕尾市城區(qū)、朔州市朔城區(qū)、重慶市梁平區(qū)、大慶市林甸縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟正藍(lán)旗
吉安市萬安縣、內(nèi)蒙古阿拉善盟阿拉善左旗、中山市民眾鎮(zhèn)、雞西市虎林市、青島市市南區(qū)、樂山市沐川縣、洛陽市汝陽縣
襄陽市南漳縣、廣西百色市田東縣、儋州市木棠鎮(zhèn)、宿州市蕭縣、巴中市恩陽區(qū)、寧夏銀川市靈武市、廣西賀州市平桂區(qū)、咸陽市涇陽縣、涼山冕寧縣
寶雞市麟游縣、延安市宜川縣、廣西來賓市興賓區(qū)、三沙市南沙區(qū)、紅河蒙自市、綏化市北林區(qū)、忻州市五臺(tái)縣、孝感市大悟縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市杭錦旗
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo)，新凱來有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱，新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開發(fā)，并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋?。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過99.99%，最終的良品率方可超過95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國(guó)產(chǎn)廠商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線類量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來的技術(shù)儲(chǔ)備從其專利中可見一斑。天眼查顯示，新凱來工業(yè)和新凱來技術(shù)有超過80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問題，國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過，國(guó)內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過去幾年，因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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