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三門峽市陜州區(qū)、普洱市寧洱哈尼族彝族自治縣、泉州市金門縣、麗江市寧蒗彝族自治縣、大慶市大同區(qū)、常德市漢壽縣、定西市漳縣、涼山寧南縣
株洲市茶陵縣、遼源市東遼縣、安順市平壩區(qū)、南昌市新建區(qū)、鶴崗市綏濱縣、朝陽(yáng)市龍城區(qū)、九江市柴桑區(qū)、商丘市睢縣
昭通市威信縣、廣安市前鋒區(qū)、榆林市米脂縣、撫州市樂(lè)安縣、泰安市寧陽(yáng)縣、廣西賀州市富川瑤族自治縣
荊州市江陵縣、東莞市南城街道、內(nèi)江市市中區(qū)、大連市莊河市、洛陽(yáng)市洛龍區(qū)、滁州市定遠(yuǎn)縣、成都市新津區(qū)、大理劍川縣、徐州市泉山區(qū)
資陽(yáng)市安岳縣、廣西防城港市港口區(qū)、麗江市玉龍納西族自治縣、洛陽(yáng)市西工區(qū)、惠州市惠東縣、澄邁縣大豐鎮(zhèn)、吉安市吉水縣
焦作市解放區(qū)、遵義市桐梓縣、紅河建水縣、武漢市江岸區(qū)、紅河元陽(yáng)縣、齊齊哈爾市富拉爾基區(qū)、江門市蓬江區(qū)、宿州市泗縣、寶雞市扶風(fēng)縣
張掖市甘州區(qū)、咸陽(yáng)市興平市、重慶市武隆區(qū)、泰州市興化市、臨汾市隰縣、日照市五蓮縣、撫州市樂(lè)安縣、青島市市北區(qū)
楚雄永仁縣、南陽(yáng)市臥龍區(qū)、廣州市荔灣區(qū)、海南共和縣、十堰市丹江口市、菏澤市定陶區(qū)
廣安市華鎣市、太原市尖草坪區(qū)、清遠(yuǎn)市陽(yáng)山縣、雞西市麻山區(qū)、昌江黎族自治縣海尾鎮(zhèn)
無(wú)錫市宜興市、株洲市石峰區(qū)、成都市簡(jiǎn)陽(yáng)市、咸陽(yáng)市武功縣、銅川市宜君縣、綿陽(yáng)市鹽亭縣、云浮市新興縣、常德市臨澧縣、上饒市玉山縣
淮安市盱眙縣、淮安市洪澤區(qū)、贛州市石城縣、大連市莊河市、焦作市沁陽(yáng)市、信陽(yáng)市商城縣、忻州市原平市
成都市錦江區(qū)、衡陽(yáng)市祁東縣、淮安市清江浦區(qū)、溫州市洞頭區(qū)、寧夏銀川市靈武市、大同市云州區(qū)、太原市婁煩縣、宿遷市泗陽(yáng)縣、玉溪市澄江市、杭州市淳安縣
臨滄市云縣、南充市閬中市、淮南市鳳臺(tái)縣、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼前旗、德州市德城區(qū)、達(dá)州市萬(wàn)源市、玉溪市澄江市、成都市新津區(qū)、馬鞍山市和縣
酒泉市肅北蒙古族自治縣、廣安市華鎣市、安陽(yáng)市文峰區(qū)、福州市羅源縣、資陽(yáng)市樂(lè)至縣
晉中市靈石縣、大理云龍縣、重慶市忠縣、湛江市雷州市、廣西南寧市西鄉(xiāng)塘區(qū)、新余市分宜縣、衡陽(yáng)市蒸湘區(qū)、寶雞市麟游縣、西寧市湟源縣
榆林市綏德縣、營(yíng)口市蓋州市、湖州市安吉縣、濟(jì)寧市任城區(qū)、鄭州市滎陽(yáng)市、海東市化隆回族自治縣、陵水黎族自治縣三才鎮(zhèn)、文山西疇縣
榆林市子洲縣、東莞市鳳崗鎮(zhèn)、寶雞市金臺(tái)區(qū)、嘉興市海寧市、玉樹(shù)雜多縣
黃岡市麻城市、溫州市樂(lè)清市、四平市鐵東區(qū)、大理鶴慶縣、煙臺(tái)市招遠(yuǎn)市、七臺(tái)河市勃利縣、朔州市朔城區(qū)、襄陽(yáng)市樊城區(qū)
蘇州市常熟市、吉安市永豐縣、直轄縣潛江市、廣西欽州市欽北區(qū)、德州市德城區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市寧城縣、鄭州市中原區(qū)、內(nèi)江市隆昌市、南陽(yáng)市臥龍區(qū)
定安縣定城鎮(zhèn)、溫州市蒼南縣、南陽(yáng)市臥龍區(qū)、寧夏吳忠市紅寺堡區(qū)、伊春市嘉蔭縣、肇慶市廣寧縣、西寧市城中區(qū)、廣西來(lái)賓市合山市、雞西市恒山區(qū)
廣安市武勝縣、黔西南普安縣、昆明市嵩明縣、天津市西青區(qū)、丹東市鳳城市、臨汾市襄汾縣、寧夏銀川市永寧縣、定西市隴西縣
中山市中山港街道、杭州市下城區(qū)、寧波市北侖區(qū)、沈陽(yáng)市鐵西區(qū)、大興安嶺地區(qū)新林區(qū)、文昌市龍樓鎮(zhèn)、株洲市醴陵市、黑河市北安市
黃石市陽(yáng)新縣、三亞市崖州區(qū)、連云港市灌云縣、駐馬店市確山縣、吉安市永豐縣、昆明市晉寧區(qū)、安慶市望江縣、麗江市寧蒗彝族自治縣、惠州市惠城區(qū)
北京市門頭溝區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟正藍(lán)旗、濟(jì)寧市嘉祥縣、泰州市興化市、眉山市丹棱縣、渭南市蒲城縣、遼源市龍山區(qū)、泉州市豐澤區(qū)、邵陽(yáng)市邵陽(yáng)縣
廣西玉林市容縣、安康市旬陽(yáng)市、嘉興市嘉善縣、資陽(yáng)市雁江區(qū)、太原市萬(wàn)柏林區(qū)、漳州市龍文區(qū)、西寧市城東區(qū)、南京市高淳區(qū)、忻州市定襄縣
大理云龍縣、棗莊市滕州市、呂梁市方山縣、貴陽(yáng)市烏當(dāng)區(qū)、呂梁市交口縣、貴陽(yáng)市白云區(qū)
萬(wàn)寧市三更羅鎮(zhèn)、溫州市甌海區(qū)、撫州市南豐縣、張家界市慈利縣、攀枝花市仁和區(qū)、宿州市泗縣、濟(jì)寧市鄒城市、大興安嶺地區(qū)塔河縣、哈爾濱市松北區(qū)
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信陽(yáng)市淮濱縣、臨夏臨夏市、云浮市新興縣、重慶市涪陵區(qū)、自貢市榮縣、呂梁市汾陽(yáng)市、天水市麥積區(qū)
東莞市寮步鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟鑲黃旗、南充市閬中市、昭通市鎮(zhèn)雄縣、楚雄大姚縣、銅仁市萬(wàn)山區(qū)、廣西來(lái)賓市象州縣、湘潭市韶山市
內(nèi)蒙古錫林郭勒盟錫林浩特市、榆林市靖邊縣、吉林市豐滿區(qū)、吉安市新干縣、信陽(yáng)市商城縣、漢中市留壩縣、陵水黎族自治縣光坡鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古呼和浩特市回民區(qū)
青島市市南區(qū)、通化市東昌區(qū)、儋州市那大鎮(zhèn)、吉安市新干縣、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟鑲黃旗
廣西北海市銀海區(qū)、七臺(tái)河市茄子河區(qū)、金華市義烏市、忻州市靜樂(lè)縣、內(nèi)蒙古赤峰市阿魯科爾沁旗、濮陽(yáng)市范縣、昆明市嵩明縣、貴陽(yáng)市烏當(dāng)區(qū)、文昌市昌灑鎮(zhèn)
宜賓市屏山縣、紅河綠春縣、贛州市上猶縣、黔西南貞豐縣、南昌市青山湖區(qū)、宣城市績(jī)溪縣、銅仁市玉屏侗族自治縣、儋州市排浦鎮(zhèn)
黔東南劍河縣、濟(jì)南市濟(jì)陽(yáng)區(qū)、廣西百色市靖西市、廣州市海珠區(qū)、河源市紫金縣、廣西桂林市秀峰區(qū)、鄭州市二七區(qū)、安慶市望江縣、濰坊市奎文區(qū)
黃山市黃山區(qū)、黃南尖扎縣、長(zhǎng)春市雙陽(yáng)區(qū)、延安市延長(zhǎng)縣、白城市大安市、長(zhǎng)春市農(nóng)安縣、揭陽(yáng)市普寧市、中山市南區(qū)街道
慶陽(yáng)市合水縣、襄陽(yáng)市襄城區(qū)、樂(lè)山市金口河區(qū)、撫順市順城區(qū)、內(nèi)蒙古赤峰市元寶山區(qū)、焦作市馬村區(qū)、白沙黎族自治縣打安鎮(zhèn)、萍鄉(xiāng)市安源區(qū)、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼中旗
景德鎮(zhèn)市昌江區(qū)、湘西州龍山縣、開(kāi)封市鼓樓區(qū)、牡丹江市寧安市、宜春市奉新縣、營(yíng)口市站前區(qū)
營(yíng)口市鲅魚(yú)圈區(qū)、忻州市靜樂(lè)縣、大理鶴慶縣、株洲市天元區(qū)、黔南惠水縣、雅安市蘆山縣、中山市東區(qū)街道、文昌市會(huì)文鎮(zhèn)
雙鴨山市集賢縣、宜賓市翠屏區(qū)、淄博市淄川區(qū)、臨汾市永和縣、九江市瑞昌市、玉樹(shù)曲麻萊縣、六安市金寨縣、無(wú)錫市惠山區(qū)、涼山甘洛縣
中山市板芙鎮(zhèn)、海東市樂(lè)都區(qū)、廣安市鄰水縣、廣安市廣安區(qū)、洛陽(yáng)市伊川縣、龍巖市長(zhǎng)汀縣、新鄉(xiāng)市衛(wèi)輝市
咸寧市赤壁市、本溪市溪湖區(qū)、張家界市桑植縣、甘孜道孚縣、呂梁市嵐縣、眉山市東坡區(qū)、新余市分宜縣、揭陽(yáng)市榕城區(qū)
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三沙市西沙區(qū)、榆林市府谷縣、商丘市寧陵縣、廣安市華鎣市、連云港市連云區(qū)
懷化市麻陽(yáng)苗族自治縣、黔東南臺(tái)江縣、廣西崇左市天等縣、南京市雨花臺(tái)區(qū)、葫蘆島市南票區(qū)、甘孜道孚縣、泰州市靖江市
信陽(yáng)市光山縣、衢州市江山市、昭通市大關(guān)縣、安順市平壩區(qū)、雙鴨山市寶清縣、吉安市井岡山市、金華市東陽(yáng)市、周口市西華縣、河源市東源縣、南充市營(yíng)山縣
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阜陽(yáng)市潁州區(qū)、東莞市洪梅鎮(zhèn)、鶴壁市淇濱區(qū)、廣州市荔灣區(qū)、萬(wàn)寧市禮紀(jì)鎮(zhèn)、麗水市景寧畬族自治縣、儋州市新州鎮(zhèn)、鷹潭市貴溪市
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甘孜雅江縣、貴陽(yáng)市云巖區(qū)、衡陽(yáng)市珠暉區(qū)、安康市石泉縣、廣西南寧市賓陽(yáng)縣、淮北市烈山區(qū)、懷化市沅陵縣、果洛瑪多縣
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徐州市豐縣、陵水黎族自治縣隆廣鎮(zhèn)、萬(wàn)寧市后安鎮(zhèn)、忻州市忻府區(qū)、荊門市掇刀區(qū)、岳陽(yáng)市岳陽(yáng)樓區(qū)、洛陽(yáng)市汝陽(yáng)縣
深圳半導(dǎo)體新星新凱來(lái)首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開(kāi)海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來(lái)工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來(lái)技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來(lái)技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo)，新凱來(lái)有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱，新凱來(lái)此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開(kāi)發(fā)，并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開(kāi)始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來(lái)此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過(guò)照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過(guò)程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋?。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來(lái)越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過(guò)500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過(guò)99.99%，最終的良品率方可超過(guò)95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國(guó)產(chǎn)廠商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開(kāi)始提速，主要廠商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來(lái)的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線類量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來(lái)的技術(shù)儲(chǔ)備從其專利中可見(jiàn)一斑。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)和新凱來(lái)技術(shù)有超過(guò)80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來(lái)，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來(lái)技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來(lái)已開(kāi)發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來(lái)量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問(wèn)題，國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過(guò)，國(guó)內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過(guò)去幾年，因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過(guò)政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來(lái)，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來(lái)的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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