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六盤水市鐘山區(qū)、郴州市宜章縣、文昌市文教鎮(zhèn)、達(dá)州市通川區(qū)、永州市零陵區(qū)
德州市禹城市、延安市宜川縣、徐州市沛縣、湛江市吳川市、郴州市宜章縣、吉林市昌邑區(qū)、運(yùn)城市絳縣、廣西崇左市憑祥市、自貢市榮縣、延安市富縣
梅州市豐順縣、錦州市北鎮(zhèn)市、甘孜稻城縣、鎮(zhèn)江市潤(rùn)州區(qū)、海西蒙古族天峻縣
臨汾市洪洞縣、陵水黎族自治縣隆廣鎮(zhèn)、嘉興市平湖市、東營(yíng)市墾利區(qū)、通化市柳河縣、白城市洮北區(qū)
漳州市薌城區(qū)、黔南甕安縣、信陽(yáng)市潢川縣、菏澤市鄆城縣、淮南市潘集區(qū)、松原市扶余市
黔南長(zhǎng)順縣、甘孜九龍縣、遵義市桐梓縣、綏化市安達(dá)市、東莞市茶山鎮(zhèn)、青島市即墨區(qū)
濟(jì)寧市曲阜市、晉中市和順縣、杭州市富陽(yáng)區(qū)、臨汾市吉縣、黔南平塘縣、齊齊哈爾市訥河市
十堰市鄖西縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市鄂托克旗、遵義市桐梓縣、北京市延慶區(qū)、廣西來(lái)賓市興賓區(qū)、景德鎮(zhèn)市浮梁縣、德州市寧津縣
伊春市友好區(qū)、玉溪市新平彝族傣族自治縣、宜昌市西陵區(qū)、重慶市奉節(jié)縣、文昌市馮坡鎮(zhèn)、齊齊哈爾市富拉爾基區(qū)、云浮市羅定市、寧夏銀川市西夏區(qū)、澄邁縣老城鎮(zhèn)
通化市通化縣、濟(jì)寧市汶上縣、廣西桂林市靈川縣、玉樹稱多縣、臨高縣和舍鎮(zhèn)、定安縣富文鎮(zhèn)、廣元市利州區(qū)、雙鴨山市尖山區(qū)
成都市蒲江縣、貴陽(yáng)市云巖區(qū)、廣州市黃埔區(qū)、白山市渾江區(qū)、阜新市太平區(qū)、株洲市炎陵縣、蘇州市虎丘區(qū)、廣西南寧市邕寧區(qū)
上饒市橫峰縣、亳州市利辛縣、黔東南榕江縣、溫州市瑞安市、泰州市高港區(qū)、邵陽(yáng)市洞口縣、臨高縣東英鎮(zhèn)、揚(yáng)州市邗江區(qū)
重慶市石柱土家族自治縣、沈陽(yáng)市皇姑區(qū)、內(nèi)蒙古呼和浩特市新城區(qū)、松原市扶余市、臺(tái)州市臨海市、澄邁縣大豐鎮(zhèn)、隨州市曾都區(qū)、運(yùn)城市河津市、西安市未央?yún)^(qū)、蘇州市張家港市
新鄉(xiāng)市獲嘉縣、廣西桂林市荔浦市、自貢市榮縣、廣西柳州市柳北區(qū)、本溪市明山區(qū)、漳州市龍文區(qū)、安陽(yáng)市北關(guān)區(qū)、文昌市馮坡鎮(zhèn)
重慶市大足區(qū)、寶雞市眉縣、三門峽市義馬市、廣西河池市宜州區(qū)、襄陽(yáng)市襄城區(qū)、昭通市水富市
西安市長(zhǎng)安區(qū)、太原市古交市、晉中市靈石縣、保亭黎族苗族自治縣保城鎮(zhèn)、白沙黎族自治縣牙叉鎮(zhèn)、婁底市新化縣、荊門市掇刀區(qū)
白城市洮南市、德陽(yáng)市綿竹市、定西市臨洮縣、廣西桂林市恭城瑤族自治縣、海北門源回族自治縣、綏化市海倫市、延邊龍井市、廣西南寧市賓陽(yáng)縣、上海市楊浦區(qū)
德州市臨邑縣、黔東南丹寨縣、臨汾市隰縣、滁州市天長(zhǎng)市、汕尾市海豐縣、合肥市廬江縣、丹東市鳳城市
丹東市振安區(qū)、鶴崗市綏濱縣、大興安嶺地區(qū)呼中區(qū)、安康市寧陜縣、漯河市臨潁縣、文昌市錦山鎮(zhèn)、朔州市朔城區(qū)、臺(tái)州市玉環(huán)市
益陽(yáng)市安化縣、鶴崗市綏濱縣、臺(tái)州市椒江區(qū)、嘉興市桐鄉(xiāng)市、衡陽(yáng)市衡山縣、貴陽(yáng)市開陽(yáng)縣、焦作市沁陽(yáng)市、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟多倫縣、寧夏石嘴山市大武口區(qū)、南昌市安義縣
淮安市盱眙縣、淮安市洪澤區(qū)、贛州市石城縣、大連市莊河市、焦作市沁陽(yáng)市、信陽(yáng)市商城縣、忻州市原平市
淄博市周村區(qū)、臨沂市河?xùn)|區(qū)、中山市中山港街道、渭南市富平縣、南平市浦城縣
普洱市寧洱哈尼族彝族自治縣、東方市四更鎮(zhèn)、沈陽(yáng)市康平縣、綏化市望奎縣、齊齊哈爾市泰來(lái)縣
哈爾濱市依蘭縣、樂(lè)山市峨眉山市、揭陽(yáng)市揭西縣、呂梁市孝義市、晉城市城區(qū)
平?jīng)鍪腥A亭縣、平頂山市衛(wèi)東區(qū)、甘孜理塘縣、三門峽市湖濱區(qū)、隨州市廣水市、湘潭市湘鄉(xiāng)市、駐馬店市正陽(yáng)縣、張家界市桑植縣、?？谑旋埲A區(qū)、周口市項(xiàng)城市
內(nèi)蒙古赤峰市阿魯科爾沁旗、廣西河池市都安瑤族自治縣、臨夏和政縣、成都市青白江區(qū)、寧波市鎮(zhèn)海區(qū)、南平市順昌縣
西安市周至縣、徐州市泉山區(qū)、上饒市廣信區(qū)、海北剛察縣、齊齊哈爾市龍江縣、廣西梧州市蒙山縣、淄博市周村區(qū)
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寧夏吳忠市青銅峽市、九江市共青城市、延安市志丹縣、宿州市靈璧縣、榆林市米脂縣
蘭州市永登縣、宜昌市猇亭區(qū)、宜賓市敘州區(qū)、延安市延長(zhǎng)縣、寶雞市麟游縣、廣安市岳池縣、寧德市福安市
南平市武夷山市、慶陽(yáng)市慶城縣、益陽(yáng)市赫山區(qū)、成都市溫江區(qū)、信陽(yáng)市新縣
畢節(jié)市七星關(guān)區(qū)、廣西河池市南丹縣、亳州市譙城區(qū)、眉山市青神縣、長(zhǎng)沙市岳麓區(qū)
南通市如東縣、廣西來(lái)賓市興賓區(qū)、恩施州來(lái)鳳縣、丹東市振安區(qū)、涼山德昌縣、畢節(jié)市七星關(guān)區(qū)、黃石市陽(yáng)新縣、揭陽(yáng)市惠來(lái)縣、漢中市南鄭區(qū)、晉中市昔陽(yáng)縣
恩施州來(lái)鳳縣、武漢市洪山區(qū)、綿陽(yáng)市平武縣、溫州市泰順縣、郴州市汝城縣、長(zhǎng)治市壺關(guān)縣、新余市渝水區(qū)、深圳市福田區(qū)
漢中市洋縣、鄭州市中原區(qū)、九江市都昌縣、齊齊哈爾市依安縣、濰坊市青州市、錦州市義縣、武漢市硚口區(qū)
梅州市蕉嶺縣、延安市富縣、南充市西充縣、襄陽(yáng)市宜城市、阜新市新邱區(qū)、荊門市掇刀區(qū)、黔西南望謨縣、陵水黎族自治縣光坡鎮(zhèn)、西安市新城區(qū)
漳州市漳浦縣、文昌市會(huì)文鎮(zhèn)、煙臺(tái)市龍口市、忻州市偏關(guān)縣、武漢市硚口區(qū)、廣西河池市巴馬瑤族自治縣、黑河市遜克縣
汕尾市陸豐市、成都市大邑縣、營(yíng)口市老邊區(qū)、萍鄉(xiāng)市上栗縣、臺(tái)州市天臺(tái)縣
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湘潭市湘鄉(xiāng)市、昆明市嵩明縣、大慶市大同區(qū)、吉安市泰和縣、揚(yáng)州市儀征市、馬鞍山市和縣、西安市藍(lán)田縣、松原市長(zhǎng)嶺縣
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貴陽(yáng)市開陽(yáng)縣、廣西來(lái)賓市合山市、綏化市青岡縣、大理洱源縣、樂(lè)東黎族自治縣利國(guó)鎮(zhèn)、成都市錦江區(qū)、鐵嶺市開原市、三明市清流縣、臨高縣臨城鎮(zhèn)
雅安市石棉縣、慶陽(yáng)市寧縣、內(nèi)蒙古通遼市庫(kù)倫旗、廈門市海滄區(qū)、泉州市永春縣
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丹東市振興區(qū)、大興安嶺地區(qū)塔河縣、通化市通化縣、宿遷市泗洪縣、瓊海市陽(yáng)江鎮(zhèn)、濱州市沾化區(qū)、運(yùn)城市新絳縣、遼陽(yáng)市燈塔市、開封市龍亭區(qū)
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來(lái)首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞?dòng)浾?| 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點(diǎn)。
3月26日-27日，深圳新凱來(lái)工業(yè)機(jī)器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長(zhǎng)白山）。
這家新銳國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺(tái)。
這個(gè)“國(guó)家隊(duì)”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來(lái)技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來(lái)技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)全資控股，而后者隸屬深圳國(guó)資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點(diǎn)。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對(duì)原子級(jí)薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國(guó)際龍頭主導(dǎo)，新凱來(lái)有意打破固有競(jìng)爭(zhēng)格局。
國(guó)際市場(chǎng)上，EPI設(shè)備長(zhǎng)期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計(jì)超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場(chǎng)份額。
行業(yè)分析稱，新凱來(lái)此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨(dú)特的反應(yīng)腔設(shè)計(jì)，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級(jí)薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國(guó)際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國(guó)外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測(cè)設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測(cè)產(chǎn)品開發(fā)，并在國(guó)內(nèi)邏輯、存儲(chǔ)和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來(lái)此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測(cè)、光學(xué)量測(cè)、PX量測(cè)、功率檢測(cè)等領(lǐng)域，通過(guò)照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測(cè)產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測(cè)產(chǎn)品天門山IBO、PX量測(cè)產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測(cè)產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測(cè)是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過(guò)程，對(duì)工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋?。
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來(lái)越多，檢量測(cè)重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測(cè)的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點(diǎn)工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過(guò)500道時(shí)，只有保證每一道工序的良品率都超過(guò)99.99%，最終的良品率方可超過(guò)95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時(shí)，最終總良品率會(huì)下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)，2023年全球半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國(guó)大陸半導(dǎo)體量測(cè)檢測(cè)設(shè)備的市場(chǎng)規(guī)模43.6億美元，全球市場(chǎng)規(guī)模占比約33.98%，市場(chǎng)空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測(cè)裝備是前道裝備里國(guó)產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報(bào)指出，相較于海外廠商，國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國(guó)產(chǎn)廠商的市場(chǎng)份額尚不及5%，但國(guó)產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國(guó)內(nèi)市場(chǎng)份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來(lái)的量檢測(cè)產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測(cè)產(chǎn)品，包括明場(chǎng)缺陷檢測(cè)BFI、暗場(chǎng)缺陷檢測(cè)DFI、表面缺陷檢測(cè)PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗(yàn)證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國(guó)內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測(cè)產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測(cè)AFM、X射線類量測(cè)XPS、CP(Chip Probing)測(cè)試機(jī)等。其中，PX量測(cè)產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測(cè)產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來(lái)的技術(shù)儲(chǔ)備從其專利中可見一斑。天眼查顯示，新凱來(lái)工業(yè)和新凱來(lái)技術(shù)有超過(guò)80項(xiàng)發(fā)明專利和實(shí)用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來(lái)，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來(lái)技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點(diǎn)。
目前，新凱來(lái)已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測(cè)裝備。新凱來(lái)量檢測(cè)設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問(wèn)題，國(guó)外工藝節(jié)點(diǎn)已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會(huì)朝這個(gè)方向持續(xù)努力。”
不過(guò)，國(guó)內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護(hù)城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺(tái)積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長(zhǎng)于設(shè)計(jì)，疏于制造。過(guò)去幾年，因?yàn)閲?guó)際局勢(shì)的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過(guò)政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來(lái)，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團(tuán)部署了多個(gè)半導(dǎo)體項(xiàng)目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤(rùn)微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國(guó)內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺(tái)，這個(gè)平臺(tái)聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來(lái)的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點(diǎn)突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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