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合肥市廬陽區(qū)、玉溪市新平彝族傣族自治縣、濟南市槐蔭區(qū)、隨州市廣水市、天津市北辰區(qū)、臨高縣調(diào)樓鎮(zhèn)、中山市神灣鎮(zhèn)、黔南龍里縣
黃山市屯溪區(qū)、麗水市松陽縣、阜陽市阜南縣、直轄縣神農(nóng)架林區(qū)、漯河市舞陽縣、河源市和平縣、咸陽市長武縣、許昌市禹州市
昭通市綏江縣、中山市東區(qū)街道、內(nèi)蒙古興安盟科爾沁右翼中旗、廣西防城港市防城區(qū)、贛州市尋烏縣
朝陽市雙塔區(qū)、重慶市合川區(qū)、吉安市吉安縣、濰坊市昌樂縣、撫州市東鄉(xiāng)區(qū)、天津市北辰區(qū)、廣西河池市宜州區(qū)
廣西河池市東蘭縣、龍巖市武平縣、畢節(jié)市七星關(guān)區(qū)、菏澤市東明縣、黔東南天柱縣、龍巖市漳平市
定西市通渭縣、福州市平潭縣、江門市鶴山市、綏化市北林區(qū)、寶雞市鳳縣、文昌市會文鎮(zhèn)、貴陽市云巖區(qū)、天津市河西區(qū)
昌江黎族自治縣海尾鎮(zhèn)、宿遷市泗陽縣、廣西桂林市七星區(qū)、衡陽市雁峰區(qū)、商洛市柞水縣
池州市貴池區(qū)、德州市夏津縣、張掖市肅南裕固族自治縣、上饒市玉山縣、恩施州建始縣
中山市板芙鎮(zhèn)、清遠(yuǎn)市清新區(qū)、咸陽市禮泉縣、鶴崗市興安區(qū)、廣西河池市金城江區(qū)、鶴崗市向陽區(qū)、許昌市襄城縣、邵陽市雙清區(qū)、廣西南寧市良慶區(qū)
馬鞍山市雨山區(qū)、湖州市長興縣、韶關(guān)市南雄市、郴州市安仁縣、鎮(zhèn)江市丹陽市、臨汾市汾西縣、濟南市長清區(qū)、達(dá)州市通川區(qū)、麗江市華坪縣、咸陽市淳化縣
廣西柳州市融水苗族自治縣、慶陽市華池縣、錦州市黑山縣、平?jīng)鍪腥A亭縣、鶴壁市浚縣、衡陽市衡南縣、臨沂市蘭山區(qū)
延安市宜川縣、廣西崇左市大新縣、上海市徐匯區(qū)、重慶市渝北區(qū)、昭通市魯?shù)榭h、延安市富縣
南通市海門區(qū)、廣西河池市大化瑤族自治縣、內(nèi)蒙古赤峰市林西縣、重慶市北碚區(qū)、牡丹江市林口縣、阿壩藏族羌族自治州理縣、內(nèi)蒙古呼和浩特市新城區(qū)
鐵嶺市鐵嶺縣、鞍山市鐵東區(qū)、黔東南雷山縣、丹東市寬甸滿族自治縣、鶴壁市淇縣、內(nèi)蒙古通遼市開魯縣
韶關(guān)市湞江區(qū)、馬鞍山市雨山區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市滿洲里市、長沙市望城區(qū)、上海市黃浦區(qū)、杭州市下城區(qū)、宜賓市翠屏區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市阿榮旗
臨滄市滄源佤族自治縣、青島市萊西市、眉山市丹棱縣、直轄縣潛江市、海北門源回族自治縣、昭通市綏江縣、駐馬店市泌陽縣
德陽市廣漢市、昌江黎族自治縣石碌鎮(zhèn)、濟南市天橋區(qū)、盤錦市興隆臺區(qū)、三明市沙縣區(qū)、武漢市蔡甸區(qū)
晉城市城區(qū)、九江市濂溪區(qū)、杭州市余杭區(qū)、十堰市房縣、文山廣南縣、大同市平城區(qū)、臨沂市郯城縣、周口市沈丘縣
紅河蒙自市、黔東南劍河縣、本溪市桓仁滿族自治縣、廣西柳州市柳城縣、牡丹江市林口縣、隴南市康縣、阿壩藏族羌族自治州理縣、呂梁市交口縣、玉溪市華寧縣、晉中市壽陽縣
齊齊哈爾市富裕縣、儋州市南豐鎮(zhèn)、達(dá)州市大竹縣、大興安嶺地區(qū)松嶺區(qū)、金華市蘭溪市
萬寧市山根鎮(zhèn)、吉林市龍?zhí)秴^(qū)、黔東南劍河縣、臨夏和政縣、廣西玉林市玉州區(qū)、撫順市清原滿族自治縣
梅州市蕉嶺縣、平頂山市汝州市、懷化市沅陵縣、瀘州市龍馬潭區(qū)、大連市長海縣、儋州市和慶鎮(zhèn)
內(nèi)蒙古呼倫貝爾市扎賚諾爾區(qū)、常德市武陵區(qū)、常德市桃源縣、昆明市晉寧區(qū)、新鄉(xiāng)市延津縣、撫州市東鄉(xiāng)區(qū)、丹東市元寶區(qū)、呂梁市交城縣、德州市德城區(qū)
臨汾市永和縣、甘孜石渠縣、上海市松江區(qū)、濱州市無棣縣、甘南合作市、撫州市金溪縣
駐馬店市驛城區(qū)、萬寧市大茂鎮(zhèn)、貴陽市息烽縣、運城市永濟市、青島市黃島區(qū)、朔州市朔城區(qū)、湘西州瀘溪縣
瀘州市合江縣、忻州市五臺縣、雙鴨山市集賢縣、長治市武鄉(xiāng)縣、商洛市丹鳳縣、宜昌市秭歸縣、寧夏吳忠市利通區(qū)、松原市乾安縣
大慶市龍鳳區(qū)、肇慶市高要區(qū)、黔西南冊亨縣、太原市陽曲縣、平頂山市寶豐縣、內(nèi)蒙古鄂爾多斯市烏審旗
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焦作市沁陽市、連云港市灌云縣、德陽市羅江區(qū)、怒江傈僳族自治州福貢縣、白沙黎族自治縣榮邦鄉(xiāng)
淮北市相山區(qū)、張掖市甘州區(qū)、杭州市江干區(qū)、荊門市鐘祥市、廣西百色市田陽區(qū)、臨沂市河?xùn)|區(qū)、內(nèi)蒙古包頭市青山區(qū)、鷹潭市貴溪市、淄博市周村區(qū)、汕頭市澄海區(qū)
內(nèi)蒙古錫林郭勒盟多倫縣、無錫市江陰市、昭通市水富市、龍巖市武平縣、棗莊市市中區(qū)
寧夏石嘴山市平羅縣、周口市太康縣、普洱市江城哈尼族彝族自治縣、漢中市略陽縣、吉安市井岡山市、漢中市南鄭區(qū)、平頂山市舞鋼市
懷化市溆浦縣、昌江黎族自治縣叉河鎮(zhèn)、邵陽市北塔區(qū)、濟寧市汶上縣、重慶市合川區(qū)
白沙黎族自治縣金波鄉(xiāng)、黔東南施秉縣、滁州市瑯琊區(qū)、郴州市桂陽縣、孝感市云夢縣、益陽市桃江縣、邵陽市武岡市、寧德市福安市
盤錦市雙臺子區(qū)、寧夏固原市隆德縣、長治市武鄉(xiāng)縣、忻州市五臺縣、汕頭市潮陽區(qū)、成都市金牛區(qū)、吉林市永吉縣、岳陽市汨羅市
屯昌縣屯城鎮(zhèn)、佳木斯市撫遠(yuǎn)市、瓊海市陽江鎮(zhèn)、江門市恩平市、菏澤市鄆城縣、玉溪市通?？h、樂東黎族自治縣利國鎮(zhèn)、鹽城市東臺市、甘孜稻城縣
白山市江源區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市額爾古納市、商丘市虞城縣、大慶市大同區(qū)、鄭州市鞏義市、內(nèi)蒙古赤峰市松山區(qū)
內(nèi)蒙古鄂爾多斯市東勝區(qū)、葫蘆島市興城市、汕頭市澄海區(qū)、茂名市茂南區(qū)、東莞市茶山鎮(zhèn)、杭州市下城區(qū)、六盤水市六枝特區(qū)
新鄉(xiāng)市新鄉(xiāng)縣、孝感市漢川市、上海市普陀區(qū)、重慶市黔江區(qū)、內(nèi)蒙古錫林郭勒盟蘇尼特右旗、昆明市晉寧區(qū)、昭通市魯?shù)榭h、肇慶市懷集縣
蘭州市城關(guān)區(qū)、駐馬店市上蔡縣、咸陽市乾縣、寧夏固原市原州區(qū)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市滿洲里市、鐵嶺市清河區(qū)
廣西來賓市象州縣、貴陽市觀山湖區(qū)、上海市寶山區(qū)、東營市廣饒縣、永州市新田縣、資陽市雁江區(qū)、南京市六合區(qū)、宿州市蕭縣、濟寧市兗州區(qū)、重慶市銅梁區(qū)
南充市營山縣、珠海市金灣區(qū)、長春市雙陽區(qū)、文昌市抱羅鎮(zhèn)、臺州市椒江區(qū)
哈爾濱市松北區(qū)、東方市三家鎮(zhèn)、滁州市天長市、貴陽市清鎮(zhèn)市、南平市松溪縣、咸陽市旬邑縣、甘孜白玉縣、保亭黎族苗族自治縣保城鎮(zhèn)、運城市新絳縣
三門峽市澠池縣、永州市江永縣、贛州市興國縣、漢中市寧強縣、天津市紅橋區(qū)、東方市感城鎮(zhèn)、內(nèi)蒙古呼倫貝爾市陳巴爾虎旗、上海市青浦區(qū)、海東市樂都區(qū)
?？谑行阌^(qū)、錦州市凌海市、儋州市木棠鎮(zhèn)、上海市寶山區(qū)、淄博市沂源縣、伊春市南岔縣、內(nèi)蒙古通遼市開魯縣、忻州市定襄縣、濟寧市任城區(qū)
宜春市樟樹市、榆林市吳堡縣、衡陽市耒陽市、廣西崇左市大新縣、廣西河池市南丹縣、臺州市椒江區(qū)、內(nèi)蒙古烏蘭察布市化德縣、營口市鲅魚圈區(qū)、上海市黃浦區(qū)、鞍山市岫巖滿族自治縣
盤錦市雙臺子區(qū)、黑河市五大連池市、東莞市大嶺山鎮(zhèn)、宿州市靈璧縣、陵水黎族自治縣提蒙鄉(xiāng)、重慶市大渡口區(qū)、吉安市安?？h、重慶市黔江區(qū)、聊城市茌平區(qū)
臨汾市安澤縣、廣西桂林市靈川縣、萬寧市北大鎮(zhèn)、廣西南寧市上林縣、邵陽市北塔區(qū)、新余市分宜縣、朔州市右玉縣、七臺河市新興區(qū)
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本溪市明山區(qū)、陵水黎族自治縣文羅鎮(zhèn)、宿州市泗縣、泉州市洛江區(qū)、重慶市大渡口區(qū)、銅仁市石阡縣、潮州市湘橋區(qū)、萬寧市三更羅鎮(zhèn)、遼陽市燈塔市
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深圳半導(dǎo)體新星新凱來首秀：發(fā)布多款設(shè)備，撕開海外壟斷|界面新聞
界面新聞記者 | 張熹瓏
界面新聞編輯 | 林騰
深圳的半導(dǎo)體新秀，成為2025中國國際半導(dǎo)體設(shè)備和材料展（SEMICON China 2025）的焦點。
3月26日-27日，深圳新凱來工業(yè)機器有限公司在SEMICON China 2025上發(fā)布了5款工藝設(shè)備新品，包括外延沉積設(shè)備EPI（峨眉山）、原子層沉積設(shè)備ALD（阿里山）、物理氣相沉積設(shè)備PVD（普陀山）、刻蝕設(shè)備ETCH（武夷山）、薄膜沉積設(shè)備CVD（長白山）。
這家新銳國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備廠商此前鮮少露面，首次參展便發(fā)布了多款新品，吸引了大批參觀者、業(yè)內(nèi)同行和潛在客戶擁擠在展臺。
這個“國家隊”成員涉及半導(dǎo)體裝備及零部件、電子制造設(shè)備的研發(fā)、制造、銷售與服務(wù)。天眼查顯示，新凱來工業(yè)成立于2022年，其母公司新凱來技術(shù)有限公司則成立于2021年，兩家公司的法人均為余海。新凱來技術(shù)由深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團全資控股，而后者隸屬深圳國資委。
上述新品名稱指向半導(dǎo)體制造工藝中至關(guān)重要的技術(shù)節(jié)點。如EPI外延層技術(shù)是先進(jìn)制程和第三代半導(dǎo)體的關(guān)鍵工藝，直接影響芯片性能與可靠性；ALD針對原子級薄膜沉積，是5納米以下先進(jìn)制程的核心裝備；CVD化學(xué)氣相沉積是半導(dǎo)體制造中需求量最大的設(shè)備之一，設(shè)備需滿足從28納米到5納米不同制程的薄膜沉積需求。
這些領(lǐng)域此前由國際龍頭主導(dǎo)，新凱來有意打破固有競爭格局。
國際市場上，EPI設(shè)備長期被AMAT、TEL等巨頭壟斷；ALD設(shè)備由ASM和TEL主導(dǎo)，市占率合計超60%；在PVD領(lǐng)域，AMAT占據(jù)85%市場份額。
行業(yè)分析稱，新凱來此次展示的高精度薄膜沉積設(shè)備采用獨特的反應(yīng)腔設(shè)計，能夠?qū)崿F(xiàn)納米級薄膜均勻性控制，技術(shù)參數(shù)已接近國際領(lǐng)先水平。而新一代涂膠顯影設(shè)備則突破國外技術(shù)壟斷，在分辨率和產(chǎn)能方面達(dá)到業(yè)界先進(jìn)標(biāo)準(zhǔn)，可滿足14納米及以上制程工藝需求。
更引人注目的是量檢測設(shè)備。公司此前宣布，已完成13類關(guān)鍵量檢測產(chǎn)品開發(fā)，并在國內(nèi)邏輯、存儲和化合物的主要半導(dǎo)體制造企業(yè)開始量產(chǎn)應(yīng)用。
新凱來此次展出的產(chǎn)品涵蓋了光學(xué)檢測、光學(xué)量測、PX量測、功率檢測等領(lǐng)域，通過照片和模型的方式展示了光學(xué)檢測產(chǎn)品岳麗山BFI、光學(xué)量測產(chǎn)品天門山IBO、PX量測產(chǎn)品沂蒙山AFM、功率檢測產(chǎn)品RATE-CP等。
“量檢測是芯片研發(fā)和量產(chǎn)中的‘眼睛’，貫穿集成電路生產(chǎn)全過程，對工藝改進(jìn)、量產(chǎn)爬坡的良率提升和控制都至關(guān)重要?！币晃粡氖聜鞲衅髦圃斓娜耸肯蚪缑嫘侣劮治鲋浮?/p>
該人士提到，隨著制程演進(jìn)，集成電路前道工藝的步驟越來越多，檢量測重要性日漸凸顯，主流半導(dǎo)體制程正從28nm、14nm向10nm、7nm發(fā)展，需要量檢測的分辨率和參數(shù)增加，設(shè)備的靈敏度、準(zhǔn)確性、穩(wěn)定性、吞吐量也要提升。
例如，28nm技術(shù)節(jié)點的工藝步驟有數(shù)百道工序，而14nm及以下節(jié)點工藝步驟將增加至近千道工序。當(dāng)晶圓制造工序超過500道時，只有保證每一道工序的良品率都超過99.99%，最終的良品率方可超過95%；當(dāng)單道工序的良品率下降至99.98%時，最終總良品率會下降至約90%。
據(jù)VLSI數(shù)據(jù)統(tǒng)計，2023年全球半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備市場規(guī)模達(dá)到128.3億美元，在全球半導(dǎo)體制造設(shè)備中占比約為13%。其中，中國大陸半導(dǎo)體量測檢測設(shè)備的市場規(guī)模43.6億美元，全球市場規(guī)模占比約33.98%，市場空間廣闊。
但與之形成反差的是，量檢測裝備是前道裝備里國產(chǎn)化率最低的裝備類別之一。華西證券研報指出，相較于海外廠商，國內(nèi)半導(dǎo)體檢測和量測設(shè)備企業(yè)起步較晚，當(dāng)前收入體量較小，國產(chǎn)廠商的市場份額尚不及5%，但國產(chǎn)化進(jìn)程已經(jīng)開始提速，主要廠商的國內(nèi)市場份額由2019年的0.61%提升至2023年的4.34%。
新凱來的量檢測產(chǎn)品可分為兩大類：一類是技術(shù)難度較高的光學(xué)量檢測產(chǎn)品，包括明場缺陷檢測BFI、暗場缺陷檢測DFI、表面缺陷檢測PC等。公司方面表示，這類產(chǎn)品基本完成客戶側(cè)驗證，2025年進(jìn)入量產(chǎn)狀態(tài)。
另一類是國內(nèi)此前空白但產(chǎn)線必需的PX（物理和X射線）及功率檢測產(chǎn)品，包括原子力顯微鏡量測AFM、X射線類量測XPS、CP(Chip Probing)測試機等。其中，PX量測產(chǎn)品已進(jìn)入量產(chǎn)交付，功率檢測產(chǎn)品也進(jìn)入了規(guī)模應(yīng)用。
新凱來的技術(shù)儲備從其專利中可見一斑。天眼查顯示，新凱來工業(yè)和新凱來技術(shù)有超過80項發(fā)明專利和實用新型，覆蓋光學(xué)、材料、工藝控制等關(guān)鍵環(huán)節(jié)。
今年以來，公布的發(fā)明專利就有“反射結(jié)構(gòu)、熱輻射單元及加熱裝置”、“加熱裝置及工藝處理設(shè)備”、“工藝腔室及工藝處理設(shè)備”、“進(jìn)氣分流器、吹掃結(jié)構(gòu)及工藝腔室”等。2024年11月，新凱來技術(shù)還研發(fā)了“靜電卡盤及工藝設(shè)備”，解決了晶圓加工中電荷釋放速率慢的行業(yè)痛點。
目前，新凱來已開發(fā)6大類半導(dǎo)體工藝和量檢測裝備。新凱來量檢測設(shè)備產(chǎn)品線負(fù)責(zé)人酈舟劍此前表示，“當(dāng)前首要解決先進(jìn)制程問題，國外工藝節(jié)點已經(jīng)更領(lǐng)先，我們也會朝這個方向持續(xù)努力。”
不過，國內(nèi)廠商除了技術(shù)上的追趕，也需要在生態(tài)上形成護城河。如AMAT的PVD設(shè)備已形成“設(shè)備-工藝-材料”的解決方案，并與臺積電、三星等頭部晶圓廠建立數(shù)十年合作。
深圳作為中國集成電路產(chǎn)業(yè)第三極（僅次于上海、北京），但產(chǎn)業(yè)上長于設(shè)計，疏于制造。過去幾年，因為國際局勢的變化，深圳在半導(dǎo)體制造的產(chǎn)業(yè)鏈上，顯露了不少短板，但如今，深圳正通過政策扶持、產(chǎn)業(yè)鏈整合等方式打造半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)集群。
除了新凱來，深圳市重大產(chǎn)業(yè)投資集團部署了多個半導(dǎo)體項目，典型案例包括中芯深圳建成深圳首條12英寸高端芯片制造產(chǎn)線、華潤微電子特色工藝集成電路生產(chǎn)線、重投天科建成亞洲最大的單體碳化硅材料生產(chǎn)基地、方正微電子率先在國內(nèi)以“VIDM”模式打通第三代半導(dǎo)體全產(chǎn)業(yè)鏈。
深圳也在去年11月宣布建成國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心深圳綜合平臺，這個平臺聚焦第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域器件的研發(fā)和中試，以及第四代半導(dǎo)體材料器件前沿研究。隨著新凱來的設(shè)備將在第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)，深圳半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈有望從“單點突破”到“系統(tǒng)突圍”。
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